同惠TH1991高精度源表簡介：
TH1991/TH1992系列精密源/測量電源，可同時輸出并測量電壓
和電流，在儀器中集成了電流源、電壓源、電壓表、電流表功能，
各功能可任意切換。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元可輸出高達(dá)±210V直流電
壓、±3A直流電流以及±10.5A脈沖電流、*小10fA/100nV的電源
和測量分辨率，支持高速采樣，可生成任意波形。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元系列采用了7英寸電容式觸
摸屏，以Linux操作系統(tǒng)為底層，交互式圖形用戶界面及各種顯示
模式，并內(nèi)置了二極管、三極管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲
線掃描功能，無需連接上位機(jī)即可完成IV功能測試，可顯著提高測
試效率。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元全 面、綜合的電源和測量功
能，是測試半導(dǎo)體、有源/無源器件以及各種其他器件與材料的理
想選擇。
TH1991/TH1992系列精密源/測量單元廣泛應(yīng)用在研發(fā)和教育應(yīng)
用、工業(yè)開發(fā)、測試和制造業(yè)等領(lǐng)域。
同惠TH1991高精度源表特點：
■ 通道數(shù)：1
■ 高達(dá)±210V直流電壓、±3A直流電流/±10.5A脈沖
■ 10fA/100nV*小輸出及測量分辨率（6 1/2位）
■ 7英寸電容式觸摸屏，分辨率800×480
■ Linux操作系統(tǒng)
■ 四象限精密電源輸出
■ 電壓源、電流源、電壓表、電流表或電阻表五種基本模式
■ 支持直流、脈沖、掃描及列表輸出
■ 二極管、三極管、MOS管以及IGBT快速生成常用器件的特性曲線，時域波形滾動顯示功能
■ 兼具二線制測量/四線制測量
■ 輸出濾波器時間常數(shù)（或截止頻率）可自由設(shè)置以實現(xiàn)任意頻響輸出
■ 數(shù)學(xué) 運(yùn)算功能、滑動平均濾波功能、偏差扣除功能
■ Delta低電阻測試方法，有效補(bǔ)償由熱電動勢引起的測量誤差
■ 14檔分選功能，含Grading和Sorting兩種模式。
■ TH199X系列高達(dá)1000000點/秒采樣率，*小采樣間隔1μs
■ TH199X系列脈沖輸出的脈寬*小可達(dá)50μs
■ TH199X系列任意波形生成及列表掃描功能（*小1μs間隔）
TH199X系列高精度源表規(guī)格選型表：
|
型號
|
通道數(shù)
|
有效設(shè)置和測量值
|
|
*小分辨率
|
*大電流
|
*大電壓
|
|
源
|
測量
|
|
TH1991C
|
1
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
DC：±1.515A 脈沖：無
|
±63V
|
|
TH1991B
|
100fA,1uV
|
10fA,100nV
|
DC：±3.03A脈沖：無
|
±210V
|
|
TH1991A
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
DC：±3.03脈沖：±10.5V
|
|
TH1991
|
10fA,100nV
|
10fA,100nV
|
|
TH1992B
|
|
100fA，1uV
|
10fA，100nV
|
|
TH1992A
|
2
|
1pA,1uV
|
100fA,100nV
|
|
TH1992
|
10fA,100nA
|
10fA,100nV
|
|
量程
|
編程解析度
|
精度（增益誤差（讀數(shù)的%）+偏移誤差）
|
噪聲（峰峰值）0.1Hz至 10Hza
|
*大電壓
（超過量程）
|
|
TH1991C
|
TH1991B
TH1992B
|
TH1991A
TH1992A
|
TH1991
TH1992
|
|
±200mV
|
1uV
|
1uV
|
0.1uV
|
±（0.015%+225uV）
|
≤10uV
|
±210mV
|
|
±2V
|
10uV
|
10uV
|
1uV
|
±（0.02%+350uV）
|
≤20uV
|
±2.1V
|
|
±20V
|
100uV
|
100uV
|
10uV
|
±（0.015%+5mV）
|
≤200uV
|
±21V
|
|
±200Vb
|
—
|
1mV
|
1mV
|
100uV
|
±（0.015%+50mV）
|
≤2mV
|
±210V
|
※注意：上標(biāo) a：補(bǔ)充特征
-
電壓限值/合規(guī)性：精度與電壓源相同。*小值是量程的 1%或 200mV 量程中的 20mV。
-
超過量程：源量程的 105%。
-
電壓輸出穩(wěn)定時間（在開路負(fù)載條件下，達(dá)到*終值的 0.1%范圍所需的時間）：步長為 10%至 90%量程。l 200mV 和 2V 量程：<50us，20V 量程：<110us，l 200V 量程：<700us
-
噪聲 10Hz 至 20MHz（V 源）：50mVrms，20V 量程
-
V 源過沖：<±(0.1%+10mV)步長大小是 10%至 90%量程， 電阻負(fù)載。
-
電壓源量程更改過沖：≤250mV，100kΩ負(fù)載，20MHz 帶寬。
上標(biāo) b：±200V 不適用于 TH1991C。
|
量程
|
編程解析度
|
精度（增益誤差（讀數(shù)的%）+偏移誤差）
|
噪聲（峰峰 值）0.1Hz至 10Hza
|
*大電流
（超過量程）
|
|
TH1991C
|
TH1991B
TH1992B
|
TH1991A
TH1992A
|
TH1991
TH1992
|
|
±10nAb
|
—
|
100fA
|
—
|
10fA
|
±(0.10%+50pA)
|
≤2pA
|
±10.5nA
|
|
±100nAc
|
—
|
1pA
|
1pA
|
100fA
|
±(0.06%+100pA)
|
≤5pA
|
±105nA
|
|
±1uA
|
10pA
|
10pA
|
1pA
|
±(0.025%+500pA)
|
≤25pA
|
±1.05uA
|
|
±10uA
|
100pA
|
100pA
|
10pA
|
±(0.025%+1.5nA)
|
≤60pA
|
±10.5uA
|
|
±100uA
|
1nA
|
1nA
|
100pA
|
±(0.02%+25nA)
|
≤3nA
|
±105uA
|
|
±1mA
|
10nA
|
10nA
|
1nA
|
±(0.02%+200nA)
|
≤6nA
|
±1.05mA
|
|
±10mA
|
100nA
|
10nA
|
10nA
|
±(0.02%+2.5uV)
|
≤200nA
|
±10.5mA
|
|
±100mA
|
1uA
|
1uA
|
100nA
|
±(0.02%+20uV)
|
≤600nA
|
±105mA
|
|
±1A
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±(0.03%+1.5mA)
|
≤70uA
|
±1.05A
|
|
±1.5A
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±(0.05%+3.5mA)
|
≤150uA
|
±1.515A
|
|
±3Ad
|
—
|
—
|
100uA
|
10uA
|
±(0.4%+7mA)
|
—
|
±3.03A
|
|
±10Ad、e
|
—
|
—
|
100uA
|
10uA
|
±(0.4%+25mA)f
|
—
|
±10.5A
|
※注意：上標(biāo) a：補(bǔ)充特征
電流限值/合規(guī)性：精度與電流源相同，*小值是量程的1%，或 10nA 量程中的 1nA。
超過量程：1.5A 和 3A 量程的是源量程的 101%，其余為源量程的 105%。
電流數(shù)出穩(wěn)定時間：（在短路條件下，達(dá)到*終值的 0.1%范圍所需的時間）：步長為 10%至 90%量程。
10nA 和 100nA 量程：<10ms，1uA 量程：<500us
10uA 和 100uA 量程：<250us，1mA 至 3A 量程：<80us
源過沖：<±0.1%，步長大小 10%至 90%量程，電阻 負(fù)載。
電流源量程更改過沖：≤250mV/R 負(fù)載，20MHz 帶寬。
上標(biāo) b：±10nA 不適用于 TH1991A/C 和 TH1992A。
上標(biāo) c：±100nA 不適用于 TH1991C。
上標(biāo) d：±3A、±10A 不適用于 TH1991B/C 和 TH1992B。
上標(biāo) e：±10A 量程僅適用于脈沖模式，不適用于 DC 模式。
上標(biāo) f：測量速度：0.01PLC。
|
|
*大電壓
|
*大峰值電流
|
*大基極電流
|
*大脈沖寬度
|
*大占空比
|
|
DC 或脈沖
|
6V
|
3.03Aa
|
303Aa
|
DC，無限值
|
100%
|
|
21V
|
1.515Aa
|
1.515Aa
|
DC，無限值
|
100%
|
|
210V
|
0.105A
|
0.105A
|
DC，無限值
|
100%
|
|
僅 限脈沖
|
6V
|
10.5A
|
0.5A
|
1ms
|
2.5%
|
|
180V
|
10.5A
|
50mA
|
10ms
|
2.5%
|
|
200V
|
1.515A
|
50mA
|
2.5ms
|
2.5%
|
※注意：
上標(biāo) a：對于兩個通道，兩個通道*大總電流受限制。
脈沖寬度定義：從 10%前沿到 90%后沿的時間，如下圖所 示。
對于脈沖源始終使用固定量程進(jìn)行測量。
圖 3-2脈沖寬度（10%前沿到 90%后沿）
|
源值
|
Limit 值
|
負(fù)載
|
源穩(wěn)定（量程的%）
|
*小脈沖寬度
|
|
200V
|
1.5A
|
200Ω
|
0.1%
|
1ms
|
|
6V
|
10.5A
|
0.6Ω
|
0.1%
|
0.2ms
|
|
1.5V
|
200V
|
65Ω
|
0.1%
|
2.5ms
|
|
10.5V
|
6A
|
0.5Ω
|
0.1%
|
0.2ms
|
在給定電壓、電流合穩(wěn)定條件時的*小脈沖寬度
※注意：對于上述電壓和電流條件連接了適當(dāng)?shù)碾娮柝?fù)載。
|
|
V 中*大電壓
|
A 中*大電流
|
使用通道 1（I1,V1）和使用通道 2（I2,V2）時總電流
限值
|
|
V 中的 V1
|
V 中的 V2
|
A 中的電流限值
|
|
DC 或 脈沖
|
6V
|
3.03A
|
±(0≤V1≤6)
|
±(0≤V2≤6)
|
I1+I2≤4
|
|
21 V
|
1.515A
|
±(6≤V2≤21)
|
I1+I2*1.6≤4
|
|
210 V
|
0.105A
|
±(6≤V1≤21)
|
±(0≤V2≤6)
|
I1+I2*0.625≤2.5
|
|
僅 限脈沖
|
6V
|
10.5A
|
±(6≤V2≤21)
|
I1+I2≤2.5
|
|
200 V
|
1.515A
|
|
|
|
|
量程值
|
電壓輸出值
|
設(shè)置分辨率
|
*大電流
|
脈沖寬度
|
|
TH1991C
|
TH1991BTH1992B
|
TH1991ATH1992A
|
TH1991
TH1992
|
DC 輸出
|
脈沖輸出
|
|
0.2V
|
0≤|V|≤0.21V
|
1uV
|
0.1uV
|
±3.03A
|
±10.5A
|
50us
≤t≤
100ks
|
|
2V
|
0≤|V|≤2.1V
|
10uV
|
1uV
|
|
20V
|
0≤|V|≤6V
|
100uV
|
10uV
|
|
0≤|V|≤21V
|
±1.515A
|
±1.515A
|
|
200V
|
0≤|V|≤6V
|
1mV
|
1mV
|
100uV
|
±3.03A
|
±3.03A
|
|
±10.5A
|
50us
≤t≤
1ms
|
|
0≤|V|≤21V
|
±1.515A
|
±1.515A
|
50us
≤t≤
100ks
|
|
0≤|V|≤180V
|
1mV
（0-60V）
|
1mV
|
—
|
±1.05A
|
50us
≤t≤
10ms
|
|
0≤|V|≤200V
|
—
|
—
|
±1.515A
|
50us
≤t≤
2.5ms
|
|
0≤|V|≤210V
|
—
|
±0.105A
|
—
|
—
|
表 3-6 電壓輸出量程
|
量程值
|
電流輸出值
|
設(shè)置分辨率
|
*大電壓
|
脈沖寬度
|
|
TH1991C
|
TH1991BTH1992B
|
TH1991ATH1992A
|
TH1991
TH1992
|
DC 輸出
|
脈沖輸
出
|
|
10nAa
|
0≤|I|≤
10.5nA
|
1pA
|
100fA
|
—
|
10fA
|
±210V
|
±210V
|
50us
≤t≤
100ks
|
|
100nA
|
0≤|I|≤
105nA
|
10pA
|
1pA
|
1pA
|
100fA
|
|
1uA
|
0≤|I|≤
1.05uA
|
100pA
|
10pA
|
10pA
|
1pA
|
|
10uA
|
0≤|I|≤
10.5uA
|
1nA
|
100pA
|
100pA
|
10pA
|
|
100uA
|
0≤|I|≤105uA
|
10nA
|
1nA
|
1nA
|
100pA
|
|
|
|
|
1mA
|
0≤|I|≤1.05mA
|
100nA
|
10nA
|
10nA
|
1nA
|
|
10mA
|
0≤|I|≤10.5mA
|
1uA
|
100nA
|
100nA
|
10nA
|
|
100mA
|
0≤|I|≤105mA
|
10uA
|
1uA
|
1uA
|
100nA
|
|
1A
|
0≤|I|≤105mA
|
100uA
|
10uA
|
10uA
|
1uA
|
±210V
|
—
|
—
|
|
105mA≤ |I| ≤1.05A
|
±21V
|
—
|
—
|
|
1.5A
|
0≤|I|≤105mA
|
100uA
|
10uA
|
±210V
|
—
|
—
|
|
105mA≤|I|≤1.515A
|
±21V
|
—
|
—
|
|
0≤|I|≤1.515A
|
—
|
±21V
|
50us
≤t≤
100ks
|
|
0≤|I|≤1.05Aa
|
—
|
±180V
|
50us
≤t≤
10ms
|
|
0≤|I|≤1.515Aa
|
—
|
±200V
|
50us
≤t≤
2.5ms
|
|
3A
|
0≤|I|≤105mA
|
1mA
|
100uA
|
100uA
|
10uA
|
±210V
|
—
|
—
|
|
105mA≤|I|≤1.515A
|
±21V
|
|
—
|
|
1.515A≤|I|≤3.03A
|
—
|
±6
|
—
|
—
|
|
10Ab
|
0≤|I|≤10.5A
|
—
|
—
|
—
|
±6V
|
50us
≤t≤
1ms
|
表 3-7 電流輸出量程
※注意：
上標(biāo) a：脈沖基地（即時）電流電平的限制為±50mA
上標(biāo) b：脈沖基地（即時）電流電平的限制為±500mA
